計量泵 計量閥 自旋查克系列 SAWATEC的自旋查克系列為所有襯底尺寸和襯底材料提供了合適的選擇。為了實現(xiàn)**的涂層，提供了各種尺寸、材料和設(shè)計的自旋鎖。視應(yīng)用程式而定，可使用光學置中輔助裝置來應(yīng)用一組或兩組自旋鎖。 為了防止基板背面受到污染，旋轉(zhuǎn)查克尺寸的*佳選擇以及特殊的查克設(shè)計至關(guān)重要。更換自旋鎖**簡單，不需要工具。 為了使旋轉(zhuǎn)模塊正常運行并實現(xiàn)高一致性，只使用原SAWATEC旋轉(zhuǎn)chucks是很重要的。使用外部品牌自旋恰奇時，SAWATEC無法保證指定的技術(shù)規(guī)格和工藝**。 SAWATEC AG是一家**的瑞士高科技公司，成立于1996年。該公司由Sawatzki Engineering和Bruno Sawatzki兩家公 